Os robôs da série NT projetados para a aplicação de sala limpa NT410 de armadura única podem atingir até quatro FOUPs, que fornecem desempenho padrão de 280 wafers por hora (WPH) com alinhador e 400 WPH sem alinhador. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisões e cumprem os padrões de imunidade de queda de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e de segurança SEMI S2.
Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais, Saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificações do controlador D60
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: 7 eixos máximos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
- Sinal de saída: máximo de 8 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificação do controlador D61
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: máximo de 12 eixos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: 96 canais máximos
- Sinal de saída: máximo de 80 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificações principais
Número de eixos: 4
Alcance máximo 1: 1.230 mm
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
Gama de movimento (°)
Eixo θ1 (rotação JT2): 340 °
Eixo Z (up-down JT3): 400 mm
Eixo θ2 (rotação JT4): 340 °
Eixo H1 (rotação JT6): 340 ° (380 °) como opção
Eixo H2 (rotação JT7): -
Aplicações de robô
Quarto limpo
