O 3-link NX540, estrutura rígida de um único braço que pode facilmente alcançar os estágios das bolachas com um espaço de alto desempenho de 300 wafers por hora (WPH) de FOUP para o alinhador e, em seguida, no palco com um braço manipulador duplo, atende aos padrões de ISO Classe 1, sistema padrão SEMI-F47 de solução imediata para a queda de tensão e reinício do sistema automático quando a tensão é restaurada, proteção padrão SEMI-S2 para o ambiente, segurança pessoal, sistema anti-colisão
Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais , saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificação do controlador D60
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: 7 eixos máximos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
- Sinal de saída: máximo de 8 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificação do controlador D61
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: máximo de 12 eixos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: 96 canais máximos
- Sinal de saída: máximo de 80 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificações principais
Número de eixos: 4
ISO Classe 1
Link: 3
Repetibilidade: ± 0,25 mm
Controlador: D60 / D61
Gama de movimento (°)
Eixo θ
(rotação JT2) |
318 ° |
| 440 mm |
Eixo Z
(JT3 para cima para baixo) |
1,232 mm |
| 336 ° |
Eixo X
(entrada / saída JT4) |
|
Eixo W - inferior
(rotação JT6) |
- |
Eixo W - superior
(rotação JT7) |
|
Aplicações de robô
Quarto limpo
