Robots série NS conçus pour l'application salle blanche NS410 (bras uniquement) avec mouvement RTZ avec longueurs optionnelles d'un axe linéaire pour une plage FOUP supplémentaire. Ils offrent des performances élevées dans la manipulation de plaquettes de 300 mm. Le logiciel et le matériel sont équipés de fonctions de détection de collision et sont conformes aux normes d'exonération de tension SEMI F47 et aux normes environnementales, sanitaires et de sécurité SEMI S2.
Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 7 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 1 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 16 canaux maximum.
- Signal de sortie: Maximum de 8 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Spécification du contrôleur D61
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 12 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 2 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 96 canaux maximum
- Signal de sortie: Maximum de 80 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Principales spécifications
Nombre d'axe: 3
ISO Classe 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
Plage de mouvement (°)
Axe Y (course JT1): 2 FOUPE: 660 mm / 3 FOUPE: 1 070 mm / 4 FOUPE: 1 670 mm
axe θ (rotation JT2): 380 °
Axe Z (JT3 haut-bas): 380 mm
Axe X (JT4 haut-bas): 710 mm
Axe F (rotation JT5): -
Applications de robot
Chambre propre
