Robots de la serie NS diseñados para la aplicación de sala limpia NS410 (solo brazo) con movimiento RTZ con longitudes opcionales de un eje lineal para un rango FOUP adicional. Ofrecen un alto rendimiento en el manejo de obleas de 300 mm. El software y el hardware están equipados con funciones de detección de colisión y cumplen con los estándares de exoneración de voltaje SEMI F47 y con los estándares ambientales, de salud y seguridad SEMI S2.
Controlador D
Los controladores D están diseñados para desarrollar aplicaciones de sala limpia que comprenden un proceso servo digital completo, puerto de comunicación Ethernet estándar, tamaño compacto, desarrollo flexible de diferentes software, operación independiente de dos brazos y controles multieje, servoamplificadores uniformes para todos los ejes, estándares ambientales , salud y seguridad SEMI S2, sala blanca ISO 1.
Especificación del controlador D60
- Sistema digital completo servo
- Ejes controlados: máximo 7 ejes
- Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
- Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
- Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
- Señal de entrada: máximo 16 canales.
- Señal de salida: un máximo de 8 canales
- Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV
Especificación del controlador D61
- Sistema digital completo servo
- Ejes controlados: máximo 12 ejes
- Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
- Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
- Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
- Señal de entrada: un máximo de 96 canales
- Señal de salida: un máximo de 80 canales
- Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV
Datos Generales
Número de ejes: 3
ISO Clase 2
Repetibilidad: ± 0.1 mm (centro de la oblea)
Controlador: D60 / D61
Rango de movimiento (°)
Eje Y (viaje JT1): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm / 4 FOUP: 1,670 mm
θ eje (rotación JT2): 380 °
Eje Z (arriba-abajo JT3): 380 mm
Eje X (arriba-abajo JT4): 710 mm
Eje F (rotación JT5): -
Aplicaciones de Robot
Sala limpia
