NS serisi robotlar, NS410 temiz oda uygulaması için tasarlanmıştır (yalnızca kol), ilave bir FOUP aralığı için isteğe bağlı uzunluklarda doğrusal bir eksene sahip RTZ hareketi vardır. 300 mm'lik wafer'lerin taşınmasında yüksek performans sağlarlar. Yazılım ve donanım çarpışma algılama işlevleriyle donatılmıştır ve SEMI F47 gerilimden arındırma standartlarına ve SEMI S2 çevre, sağlık ve güvenlik standartlarına uygundur.
Denetleyici D
D denetleyicileri, komple bir dijital servo işlemi, standart Ethernet iletişim portu, kompakt ayak izi, farklı yazılımların esnek geliştirilmesi, iki kol ve çok eksenli kontrollerin bağımsız çalışması, tüm eksenler için üniform servo amplifikatörler, standartlar çevresel standartlar içeren temiz oda uygulamaları geliştirmek üzere tasarlanmıştır. , sağlık ve güvenlik SEMI S2, beyaz oda ISO 1.
D60 kontrolörünün özellikleri
- Servo komple dijital sistem
- Kontrollü Eksenler: Maksimum 7 eksen
- Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
- Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
- Donanım: RS232C x 1 Ethernet.
- Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
- Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
- Giriş sinyali: Maksimum 16 kanal.
- Çıkış sinyali: Maksimum 8 kanal
- Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
D61 kontrol cihazının özellikleri
- Servo komple dijital sistem
- Kontrollü Eksenler: Maksimum 12 eksen
- Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
- Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
- Donanım: RS232C x 2 Ethernet.
- Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
- Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
- Giriş sinyali: Maksimum 96 kanal
- Çıkış sinyali: Maksimum 80 kanal
- Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
Ana spesifikasyonlar
Eksen sayısı: 3
ISO Clase 2
Tekrarlanabilirlik: ± 0.1 mm (gofret merkezi)
Denetleyici: D60 / D61
Hareket aralığı (°)
Y ekseni (JT1 seyahat): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm / 4 FOUP: 1,670 mm
θ ekseni (dönüş JT2): 380 °
Z ekseni (yukarı-aşağı JT3): 380 mm
X ekseni (yukarıya-aşağı JT4): 710 mm
F ekseni (dönüş JT5): -
Robot uygulamaları
Temiz oda
