NS系列机器人设计用于洁净室应用NS411（带有活瓣的单臂），RTZ运动，可选长度为线性轴，用于额外的FOUP范围。它们在处理300mm晶圆时提供了高性能。软件和硬件配备了碰撞检测功能，并符合SEMI F47电压无罪标准和SEMI S2环境，健康和安全标准。
控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的占地面积，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，全轴统一伺服放大器，标准环境，健康安全SEMI S2，白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
伺服完整的数字系统
受控轴：最多7轴
手动，半自动，全自动教学。
外部紧急停车，接近安全，外部停车。
硬件：RS232C x 1以太网。
软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
输入信号：最多16个通道。
输出信号：最多8个通道
兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
D61控制器的规格
伺服完整的数字系统
受控轴：最多12个轴
手动，半自动，全自动教学。
外部紧急停车，接近安全，外部停车。
硬件：RS232C x 2以太网。
软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
输入信号：最多96个通道
输出信号：最多80个通道
兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
主要规格
轴数：4
ISO Class 2
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61
运动范围（°）
Y轴（行程JT1）：2 FOUP：660mm / 3 FOUP：1,070mm / 4 FOUP：1670mm
θ轴（旋转JT2）：325°
Z轴（上下JT3）：380毫米
X轴（上下JT4）：798毫米
F轴（旋转JT5）：156°
机器人应用
整理房间
