Роботы серии NS, предназначенные для применения в чистой комнате NS411 (одно плечо с клапаном) с движением RTZ с дополнительными длинами линейной оси для дополнительного диапазона FOUP. Они обеспечивают высокую производительность при обработке 300 мм пластин. Программное обеспечение и аппаратные средства оснащены функциями обнаружения столкновений и соответствуют стандартам защиты от перенапряжений SEMI F47 и стандартам окружающей среды, здоровья и безопасности SEMI S2.
Контроллер D
D предназначены для разработки приложений для чистых помещений, включающих полный цифровой сервопривод, стандартный Ethernet-порт связи, компактную площадь, гибкую разработку различного программного обеспечения, независимую работу двух плеч и многоосевых элементов управления, унифицированные сервоусилители для всех осей, стандарты для окружающей среды , здоровье и безопасность SEMI S2, белая комната ISO 1.
Спецификация контроллера D60
Серво цифровая система
Управляемые оси: максимум 7 осей
Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
Оборудование: RS232C x 1 Ethernet.
Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
Входной сигнал: максимум 16 каналов.
Выходной сигнал: максимум 8 каналов
Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Спецификация контроллера D61
Серво цифровая система
Управляемые оси: Максимум 12 осей
Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
Оборудование: RS232C x 2 Ethernet.
Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
Входной сигнал: Максимум 96 каналов
Выходной сигнал: максимум 80 каналов
Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Основные технические характеристики
Количество осей: 4
Класс ISO 2
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
Диапазон движения (°)
Ось Y (перемещение JT1): 2 FOUP: 660 мм / 3 FOUP: 1,070 мм / 4 FOUP: 1,670 мм
ось θ (вращение JT2): 325 °
Ось Z (вверх JT3): 380 мм
Ось X (вверх JT4): 798 мм
Ось F (вращение JT5): 156 °
Приложения для роботов
Чистая комната
