NS serisi robotlar, ilave oda sıcaklığı ölçümü için isteğe bağlı uzunluklarda doğrusal eksene sahip RTZ hareketli, temiz oda uygulaması NS411 (tek kollu kapaklı) için tasarlanmıştır. 300 mm'lik wafer'lerin taşınmasında yüksek performans sağlarlar. Yazılım ve donanım çarpışma algılama işlevleriyle donatılmıştır ve SEMI F47 gerilimden arındırma standartlarına ve SEMI S2 çevre, sağlık ve güvenlik standartlarına uygundur.
Denetleyici D
D denetleyicileri, komple bir dijital servo işlemi, standart Ethernet iletişim portu, kompakt ayak izi, farklı yazılımların esnek geliştirilmesi, iki kol ve çok eksenli kontrollerin bağımsız çalışması, tüm eksenler için üniform servo amplifikatörler, standartlar çevresel standartlar içeren temiz oda uygulamaları geliştirmek üzere tasarlanmıştır. , sağlık ve güvenlik SEMI S2, beyaz oda ISO 1.
D60 kontrolörünün özellikleri
Servo komple dijital sistem
Kontrollü Eksenler: Maksimum 7 eksen
Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
Donanım: RS232C x 1 Ethernet.
Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
Giriş sinyali: Maksimum 16 kanal.
Çıkış sinyali: Maksimum 8 kanal
Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
D61 kontrol cihazının özellikleri
Servo komple dijital sistem
Kontrollü Eksenler: Maksimum 12 eksen
Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
Donanım: RS232C x 2 Ethernet.
Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
Giriş sinyali: Maksimum 96 kanal
Çıkış sinyali: Maksimum 80 kanal
Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
Ana spesifikasyonlar
Eksen sayısı: 4
ISO Sınıf 2
Tekrarlanabilirlik: ± 0.1 mm (gofret merkezi)
Denetleyici: D60 / D61
Hareket aralığı (°)
Y ekseni (JT1 seyahat): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm / 4 FOUP: 1,670 mm
θ ekseni (dönüş JT2): 325 °
Z ekseni (yukarı-aşağı JT3): 380 mm
X ekseni (yukarı-aşağı JT4): 798 mm
F ekseni (dönüş JT5): 156 °
Robot uygulamaları
Temiz oda
