NS系列机器人设计用于洁净室应用NS510（单臂），带有RTZ运动，可选长度为直线轴，用于额外的FOUP范围。它们在处理300mm晶圆时提供了高性能。软件和硬件配备了碰撞检测功能，并符合SEMI F47电压无罪标准和SEMI S2环境，健康和安全标准。
控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的尺寸，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，所有轴的统一伺服放大器，标准环境， 健康和安全
SEMI S2，白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多7轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 1以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多16个通道。
- 输出信号：最多8个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
D61控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多12个轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 2以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多96个通道
- 输出信号：最多80个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
主要规格
轴数：3
ISO Class 2
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61
运动范围（°）
Y轴（旅行JT1）： -
θ轴（旋转JT2）：360°
Z轴（上下JT3）：440毫米
X轴（上下JT4）：598毫米
F轴（旋转JT5）： -
机器人应用
整理房间
