Robot della serie NS progettati per l'applicazione per camera bianca NS511 (montaggio a soffitto con flip) con movimento RTZ con lunghezze facoltative di un asse lineare per una gamma FOUP aggiuntiva. Forniscono alte prestazioni nella gestione di wafer da 300 mm. Il software e l'hardware sono dotati di funzioni di rilevamento delle collisioni e sono conformi agli standard di esonerazione della tensione SEMI F47 e agli standard ambientali, sanitari e di sicurezza di SEMI S2.
Controller D
I controller D sono progettati per lo sviluppo di applicazioni clean room comprendenti un processo servo digitale completo, porta di comunicazione Ethernet standard, footprint compatto, sviluppo flessibile di software diversi, funzionamento indipendente di due bracci e controlli multiasse, servoamplificatori uniformi per tutti gli assi, standard ambientali , salute e sicurezza SEMI S2, stanza bianca ISO 1.
Specifiche del controller D60
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 7 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 16 canali.
- Segnale di uscita: massimo di 8 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifica del controller D61
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 12 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: Ethernet RS232C x 2.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 96 canali
- Segnale in uscita: massimo 80 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifiche principali
Numero di assi: 4
Classe ISO 5
Ripetibilità: ± 0,1 mm (centro wafer)
Regolatore: D60 / D61
Intervallo di movimento (°)
Asse Y (viaggio JT1): -
asse θ (rotazione JT2): 473 °
Asse Z (JT3 su-giù): 440 mm
Asse X (JT4 su-giù): 816,5 mm
Asse F (rotazione JT5): 200 °
Applicazioni robot
Camera pulita
