I robot della serie NT progettati per l'applicazione cleanroom a braccio singolo NT410 possono raggiungere fino a quattro FOUP, che forniscono prestazioni standard di 280 wafer all'ora (WPH) con aligner e 400 WPH senza aligner. Il software e l'hardware sono dotati di funzioni di rilevamento delle collisioni e sono conformi agli standard di immunità al voltaggio SEMI F47 e agli standard ambientali, di salute e sicurezza SEMI S2.
Controller D
I controller D sono progettati per sviluppare applicazioni cleanroom che comprendono un processo di servo digitale completo, porta di comunicazione Ethernet standard, footprint compatto, sviluppo flessibile di software diversi, funzionamento indipendente di due bracci e controlli multiasse, servoamplificatori uniformi per tutti gli assi, standard ambientali, salute e sicurezza SEMI S2, ISO 1 camera bianca.
Specifiche del controller D60
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 7 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 16 canali.
- Segnale di uscita: massimo di 8 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifica del controller D61
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 12 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: Ethernet RS232C x 2.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 96 canali
- Segnale in uscita: massimo 80 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifiche principali
Numero di assi: 4
Massima portata: 1.230 mm
Ripetibilità: ± 0,1 mm (centro wafer)
Regolatore: D60 / D61
Intervallo di movimento (°)
asse θ1 (rotazione JT2): 340 °
Asse Z (JT3 su-giù): 400 mm
asse θ2 (rotazione JT4): 340 °
Asse H1 (rotazione JT6): 340 ° (380 °) come opzione
Asse H2 (rotazione JT7): -
Applicazioni robot
Camera pulita
