为洁净室应用而设计的NT系列机器人可以达到4个FOUP，NT520双臂机器人提供了每小时280个晶片（WPH）和对准器的标准性能，以及400个无定位器的WPH。软件和硬件均具有碰撞检测功能，并符合SEMI F47电压暂降无损标准和SEMI S2环境，健康和安全标准。
控制器D
D控制器旨在开发洁净室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的尺寸，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，所有轴的统一伺服放大器，标准环境，健康和安全SEMI S2，ISO 1白色房间。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多7轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 1以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多16个通道。
- 输出信号：最多8个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
主要规格
轴数：5
最大达到：1,280毫米
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61
运动范围（°）
θ1轴（旋转JT2）：340°
Z轴（上下JT3）：470毫米
θ2轴（旋转JT4）：340°
H1轴（旋转JT6）：340°（380°）comoopción
H2轴（旋转JT7）：380°
机器人应用
整理房间
