クリーンルーム用に設計されたNTシリーズロボットは最大4台までのFOUPに対応できます.NT520ダブルアームロボットは、アライナを使用して280ウェーハ（WPH）、アライナなしで400 WPHの標準性能を提供します。ソフトウェアとハードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧サグ免除基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準イーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、すべての軸のための均一なサーボアンプ、標準的な環境、安全衛生SEMI S2、ISO 1ホワイトルーム。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大16チャンネル。
- 出力信号：最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数：5
最大到達距離：1,280 mm
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61
動作範囲（°）
θ1軸（回転JT2）：340°
Z軸（上下JT3）：470 mm
θ2軸（回転JT4）：340°
H1軸（回転JT6）：340°（380°）
H2軸（回転JT7）：380°
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
