Temiz oda uygulaması için tasarlanmış NT serisi robotlar, dört adete kadar FOUP, NT620 çift kollu tavan montajı, hizalayıcı olmadan hizalayıcı ve 400 WPH ile saatte 280 gofret (WPH) standart performansı sağlar. Yazılım ve donanım çarpışma algılama işlevleriyle donatılmıştır ve SEMI F47 gerilim sarkma engelleme standartlarına ve SEMI S2 çevre, sağlık ve güvenlik standartlarına uygundur.
Denetleyici D
D kontrolörleri, komple bir dijital servo işlemi, standart Ethernet iletişim portu, kompakt ayak izi, farklı yazılımın esnek geliştirilmesi, iki kol ve çok eksenli kontrollerin bağımsız çalışması, tüm eksenler için üniform servo amplifikatörler, standart çevre, sağlık ve güvenlik SEMI S2, ISO 1 beyaz oda.
D60 kontrolörünün özellikleri
- Servo komple dijital sistem
- Kontrollü Eksenler: Maksimum 7 eksen
- Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
- Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
- Donanım: RS232C x 1 Ethernet.
- Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
- Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
- Giriş sinyali: Maksimum 16 kanal.
- Çıkış sinyali: Maksimum 8 kanal
- Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
Ana spesifikasyonlar
Eksen sayısı: 5
Maksimum ulaşım: 1,250,7 mm
Tekrarlanabilirlik: ± 0.1 mm (gofret merkezi)
Denetleyici: D60 / D61
Hareket aralığı (°)
θ1 ekseni (dönüş JT2): 340 °
Z ekseni (yukarı-aşağı JT3): 600 mm
θ2 ekseni (dönüş JT4): 340 °
H1 ekseni (dönüş JT6): 340 ° (380 °) komodin
H2 ekseni (JT7 dönüşümü): 380 °
Robot uygulamaları
Temiz oda
