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Kawasaki Cleanroom NX510

Le NX510 est un robot qui a une structure de bras rigide qui peut facilement atteindre les étapes des tranches avec un espace restreint, ainsi que le FOUP dans des positions arbitraires. peut utiliser avec 2 ou 3 FOUP sans rail, répond aux normes de classe ISO 1, système SEMI-F47 standard de solution immédiate à la chute de tension et redémarrage du système automatique lorsque la tension est rétablie, protection SEMI-S2 standard à la environnement et sécurité personnelle, système anti-collision, haute linéarité, positionnement et grande précision.

Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
Spécification du contrôleur D61

Principales spécifications

Nombre d'axes: 4
Classe ISO 1
Lien: 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
 
Plage de mouvement (°)
 
axe θ
(rotation JT2)
330 °
440 mm
Axe z
(JT3 haut-bas)
832 mm
336 °
Axe X
(in / out JT4)
 
Axe W - inférieur
(rotation JT6)
-
Axe W - supérieur
(rotation JT7)
 

Applications de robot

Chambre propre

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Photos
Diagrammes