NX510は、堅いアーム構造を持ち、狭いスペースで簡単にウェーハのステージに到達できるロボットです。また、任意の位置にあるFOUPも使用できます。 2つまたは3つのFOUPとトラックなしで使用することができ、ISOクラス1の標準を満たし、電圧降下に対する即時解決のSEMI-F47標準システムを満たし、電圧が回復したときの自動システムの再起動、環境と個人の安全、反衝突システム、高い直線性、位置付けと高い精度を提供します。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大16チャンネル。
- 出力信号：最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大12軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大96チャンネル
- 出力信号：最大80チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数：4
ISOクラス1
リンク：2
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61
動作範囲（°）
θ軸
（回転JT2） |
330° |
| 440 mm |
Z軸
（アップダウンJT3） |
832 mm |
| 336° |
X軸
（in / out JT4） |
|
W軸 - 下
（回転JT6） |
- |
W軸 - 上
（回転JT7） |
|
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
