El NX520 con 2 enlaces, estructura rígida de doble brazo que puede alcanzar fácilmente las etapas de obleas con un espacio de alto rendimiento de 200 obleas por hora (WPH) desde FOUP hasta el alineador, y luego hasta el escenario con un manipulador de brazo doble, cumple con los estándares de ISO Clase 1, sistema SEMI-F47 estándar de solución inmediata a la caída de tensión y reinicio del sistema automático cuando se restablece la tensión, protección ambiental estándar SEMI-S2, seguridad personal, sistema anticolisión.
Controlador D
Los controladores D están diseñados para desarrollar aplicaciones de sala limpia que comprenden un proceso servo digital completo, puerto de comunicación Ethernet estándar, tamaño compacto, desarrollo flexible de diferentes software, operación independiente de dos brazos y controles multieje, servoamplificadores uniformes para todos los ejes, estándares ambientales , salud y seguridad SEMI S2, sala blanca ISO 1.
Especificación del controlador D60
- Sistema digital completo servo
- Ejes controlados: máximo 7 ejes
- Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
- Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
- Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
- Señal de entrada: máximo 16 canales.
- Señal de salida: un máximo de 8 canales
- Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV
Especificación del controlador D61
- Sistema digital completo servo
- Ejes controlados: máximo 12 ejes
- Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
- Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
- Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
- Señal de entrada: un máximo de 96 canales
- Señal de salida: un máximo de 80 canales
- Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV
Datos Generales
Número de ejes: 5
ISO Clase 1
Enlace: 2
Repetibilidad: ± 0.1 mm (centro de la oblea)
Controlador: D60 / D61
Rango de movimiento (°)
θ eje
(rotación JT2) |
330 ° |
| 440 mm |
eje Z
(arriba-hacia abajo JT3) |
832 mm |
| 336 ° |
Eje X
(entrada / salida JT4) |
|
Eje W: más bajo
(rotación JT6) |
336 ° |
Eje W: superior
(rotación JT7) |
|
Aplicaciones del Robot
Sala limpia
