NX520采用双链路结构，刚性双臂结构，可以很容易地从FOUP到对准器，然后到达双臂机械手的舞台，达到每小时200片晶圆（WPH）的高性能空间，达到标准ISO 1级标准SEMI-F47系统即刻解决电压恢复时自动系统的电压下降和重启，标准SEMI-S2环保，人身安全，防撞系统。
控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的占地面积，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，全轴统一伺服放大器，标准环境，健康安全SEMI S2，白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多7轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 1以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多16个通道。
- 输出信号：最多8个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
D61控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多12个轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 2以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多96个通道
- 输出信号：最多80个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
主要规格
轴数：5
ISO 1级
链接：2
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61
运动范围（°）
θ轴
（旋转JT2） |
330° |
| 440毫米 |
Z轴
（上下JT3） |
832毫米 |
| 336° |
X轴
（进/出JT4） |
|
W轴 - 较低
（旋转JT6） |
336° |
W轴 - 上
（旋转JT7） |
|
机器人应用
整理房间
