川崎クリーンルームNX520
2リンクのNX520は、FOUPからアライナーまで、そしてダブルアームマニピュレーターを使用してステージまで200時間の高性能スペース(WPH)で容易にウェーハステージに到達できる剛性のダブルアーム構造であり、 ISOクラス1の標準SEMI-F47システムで、電圧が回復したときの自動システムの電圧降下および再開、SEMI-S2環境保護、個人安全、反衝突システムの即時解決が可能です。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸:最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
- エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
- 入力信号:最大16チャンネル。
- 出力信号:最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸:最大12軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア:RS232C x 2イーサネット。
- ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
- エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
- 入力信号:最大96チャンネル
- 出力信号:最大80チャンネル
- 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数:5
ISOクラス1
リンク:2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
ISOクラス1
リンク:2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
動作範囲(°)
θ軸 (回転JT2) |
330° |
440 mm | |
Z軸 (アップダウンJT3) |
832 mm |
336° | |
X軸 (in / out JT4) |
|
W軸 - 下 (回転JT6) |
336° |
W軸 - 上 (回転JT7) |
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
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Polígono Ugaldeguren III, nó 32, Pabellón 1
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Tel. 0039 3387620171
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matteotenti@eurobots.com
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Last updated: 19 Nov, 2024