L'NX520 con 2 collegamenti, struttura a doppio braccio rigido che può facilmente raggiungere i livelli dei wafer con uno spazio ad alte prestazioni di 200 wafer all'ora (WPH) da FOUP all'allineatore, e quindi al palco con un manipolatore a doppio braccio, soddisfa gli standard di Classe ISO 1, sistema SEMI-F47 standard di soluzione immediata alla caduta di tensione e riavvio del sistema automatico al ripristino della tensione, protezione ambientale SEMI-S2 standard, sicurezza personale, sistema anti-collisione.
Controller D
I controller D sono progettati per lo sviluppo di applicazioni clean room comprendenti un processo servo digitale completo, porta di comunicazione Ethernet standard, footprint compatto, sviluppo flessibile di software diversi, funzionamento indipendente di due bracci e controlli multiasse, servoamplificatori uniformi per tutti gli assi, standard ambientali , salute e sicurezza SEMI S2, stanza bianca ISO 1.
Specifiche del controller D60
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 7 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 16 canali.
- Segnale di uscita: massimo di 8 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifica del controller D61
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 12 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: Ethernet RS232C x 2.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 96 canali
- Segnale in uscita: massimo 80 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifiche principali
Numero di assi: 5
Classe ISO 1
Link: 2
Ripetibilità: ± 0,1 mm (centro wafer)
Regolatore: D60 / D61
Intervallo di movimento (°)
asse θ
(rotazione JT2) |
330 ° |
| 440 mm |
Asse Z.
(JT3 up-down) |
832 mm |
| 336 ° |
Asse X.
(dentro / fuori JT4) |
|
Asse W - inferiore
(rotazione JT6) |
336 ° |
Asse W - superiore
(rotazione JT7) |
|
Applicazioni robot
Camera pulita
