彼はTT220モデルの伸縮自在水平関節ロボットは、高い位置と低い位置でより速い速度と4つのFOUPへのアクセス能力を可能にするその頑丈な伸縮ベースによって特徴付けられるTTシリーズの一部です。それは速度と性能を最適化するダブルアーム設計とグリッパーを備えています。 SEMI-F47規格に準拠し、電圧が回復したときの電圧降下と自動システムの再起動、環境に対する標準SEMI-S2保護、個人の安全性、衝突防止システムを備えています。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、健康と安全のSEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大16チャンネル。
- 出力信号：最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大12軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大96チャンネル
- 出力信号：最大80チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数：5
最大到達範囲：1,230 mm
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61
ISOクラス1
動作範囲（°）
θeje（rotaciónJT2）：340°
Z軸（上下JT3）：740 mm
θ軸（回転JT4）：340°
H1軸（回転JT6）：340°（380°）
H2軸（回転JT7）：340°（380°）
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
