Roboter der NT-Serie, die für die einarmige Reinraumanwendung NT510 entwickelt wurden, können bis zu vier FOUPs erreichen, die eine Standardleistung von 280 Wafern pro Stunde (WPH) mit Aligner und 400 WPH ohne Aligner bereitstellen. Die Software und Hardware sind mit Kollisionserkennungsfunktionen ausgestattet und entsprechen den Spannungsfreiheitsstandards SEMI F47 und SEMI S2 Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsstandards.
Controller D60
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraum-Anwendungen zu entwickeln, die einen vollständigen digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung unterschiedlicher Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen, Standards Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, ISO 1 Reinraum.
Angaben zum D60 Controller
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
- Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 4
Maximale Reichweite: 1.230 mm
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Bewegungsbereich (°)
θ1 Achse (Drehung JT2): 340 °
Z-Achse (Aufwärts-Abwärts-JT3): 470 mm
θ2-Achse (Drehung JT4): 340 °
H1-Achse (Rotation JT6): 340 ° (380 °) como opción
H2-Achse (Drehung JT7): -
Roboteranwendungen
Reinraum
