Der TT220 teleskopische Horizontal-Knickarmroboter ist Teil der TT-Serie und zeichnet sich durch seine robuste Teleskopbasis aus, die eine höhere Geschwindigkeit in hohen und niedrigen Positionen ermöglicht und bis zu 4 FOUP ermöglicht. Es hat ein Doppelarmdesign und Greifer, die Geschwindigkeit und Leistung optimieren. Entspricht dem SEMI-F47-Standard, sofortige Lösung des Spannungsabfalls und Neustart des automatischen Systems bei Spannungswiederkehr, Standard SEMI-S2-Schutz für die Umwelt, persönliche Sicherheit und enthält ein Antikollisionssystem.
Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit SEMI S2 und Weißraum ISO 1.
Spezifikation des D60-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
- Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 5
Maximale Reichweite: 1.230 mm
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
ISO-Klasse 1
Bewegungsbereich (°)
θ eje (Rotatión JT2): 340 °
Z-Achse (Auf-Ab-JT3): 740 mm
θ-Achse (Drehung JT4): 340 °
H1-Achse (Rotation JT6): 340 ° (380 °)
H2-Achse (Drehung JT7): 340 ° (380 °)
Roboteranwendungen
Reinraum
